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          鉑悅儀器(上海)有限公司

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          反射膜厚儀

          更新時間:2021-03-02

          產品品牌:Semiconsoft

          產品型號:MProbe系列

          產品描述:反射膜厚儀是一種非接觸式、快速的光學薄膜厚度測量技術。

          產品概述

          當一束光入射到薄膜表面時,薄膜上表面和下表面的反射光會發生干涉,干涉的發生與薄膜厚度及光學常數等有關,反射光譜薄膜測厚儀就是基于此原理來測量薄膜厚度。

          反射膜厚儀是一種非接觸式、無損的、快速的光學薄膜厚度測量技術。

          測量范圍: 1 nm - 1 mm

          波長范圍: 200 nm -8000 nm

          光斑尺寸:2um -3 um

           

          標準配置中包含:

          1. 主機(光譜儀,光源,電線)

          2. 反射光纖

          3. 樣品臺及光纖適配器

          4. TFCompanion軟件

          5. 校準套裝

          6. 測試樣品,200nm晶圓

           

          廣泛的應用于各種工業生產及工藝監控中:

          半導體晶圓,薄膜太陽能電池,液晶平板,觸摸屛,光學鍍膜,聚合物薄膜等

          半導體制造:· 光刻膠          · 氧化物        · 氮化物

          光學鍍膜:· 硬涂層          · 抗反射涂層         · 濾波片

          生物醫學:· 生物膜厚度         · 硝化纖維

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